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ICP光譜儀的光學系統盤點
發布時間：2026-05-14 09:25:50 點擊：703
一、其他主流光學系統（分光/色散）
切爾尼-特納（Czerny-Turner）：雙準直鏡+平面光柵，結構簡單、成本低，常見于單道掃描型儀器。
帕邢-龍格（Paschen-Runge）：凹面光柵直接分光，羅蘭圓排布，光效高、分辨率好，多用于多道同時型儀器。
艾伯特-法斯梯（Ebert-Fastic）：單塊大凹面鏡兼準直/聚焦，像差補償好、結構緊湊。
羅蘭圓（ORCA）：一次分光直達檢測器，光損小、穩定性強，近年全譜直讀儀器常用。
羅蘭圓光學系統示意圖
二、儀器整體核心組成（除光學系統外）
ICP光源系統
高頻發生器（RF）：提供等離子體能量。
石英炬管：三層同心管，通冷卻氣/輔助氣/載氣（氬氣）。
感應線圈：銅質空心通水冷卻，點燃并維持等離子體。
進樣系統
霧化器：同心/交叉型，將液體樣品轉為氣溶膠。
霧室：去除大液滴，穩定進樣，提高精度。
蠕動泵：精準輸送樣品，控制進樣量。
檢測系統
光電倍增管（PMT）：單通道高靈敏檢測，適合弱信號。
固態檢測器：CCD/CID/CMOS，全譜直讀、多元素同時檢測。
ICP檢測系統CCD
數據處理與控制系統
儀器控制軟件：控制射頻功率、氣體流量、進樣參數。
數據處理軟件：譜線識別、背景校正、干擾扣除、定量計算。
創想儀器 ICP光譜儀
ICP數據處理系統
輔助系統
氣路系統：高純氬氣（99.999%），控制三路氣體流量。
冷卻系統：水冷/風冷，冷卻線圈、炬管、光學部件。
恒溫系統：光學艙恒溫（±0.1℃），減少波長漂移。
三、光學系統對比
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光學系統 |
核心特點 |
適用場景 |
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中階梯光柵 |
高分辨率、全譜覆蓋、二維色散 |
全譜直讀、復雜樣品 |
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切爾尼-特納 |
結構簡單、成本低、掃描靈活 |
單道掃描、常規分析 |
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帕邢-龍格 |
光效高、穩定性好、多通道 |
多道同時、快速檢測 |
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羅蘭圓 |
一次分光、光損小、抗干擾強 |
高端全譜、痕量分析 |
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