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ICP光譜儀的光學系統盤點
發布時間:2026-05-14 09:25:50 點擊:253
一、其他主流光學系統(分光/色散)
切爾尼-特納(Czerny-Turner):雙準直鏡+平面光柵,結構簡單、成本低,常見于單道掃描型儀器。
帕邢-龍格(Paschen-Runge):凹面光柵直接分光,羅蘭圓排布,光效高、分辨率好,多用于多道同時型儀器。
艾伯特-法斯梯(Ebert-Fastic):單塊大凹面鏡兼準直/聚焦,像差補償好、結構緊湊。
羅蘭圓(ORCA):一次分光直達檢測器,光損小、穩定性強,近年全譜直讀儀器常用。
羅蘭圓光學系統示意圖
二、儀器整體核心組成(除光學系統外)
ICP光源系統
高頻發生器(RF):提供等離子體能量。
石英炬管:三層同心管,通冷卻氣/輔助氣/載氣(氬氣)。
感應線圈:銅質空心通水冷卻,點燃并維持等離子體。
進樣系統
霧化器:同心/交叉型,將液體樣品轉為氣溶膠。
霧室:去除大液滴,穩定進樣,提高精度。
蠕動泵:精準輸送樣品,控制進樣量。
檢測系統
光電倍增管(PMT):單通道高靈敏檢測,適合弱信號。
固態檢測器:CCD/CID/CMOS,全譜直讀、多元素同時檢測。
ICP檢測系統CCD
數據處理與控制系統
儀器控制軟件:控制射頻功率、氣體流量、進樣參數。
數據處理軟件:譜線識別、背景校正、干擾扣除、定量計算。
創想儀器 ICP光譜儀
ICP數據處理系統
輔助系統
氣路系統:高純氬氣(99.999%),控制三路氣體流量。
冷卻系統:水冷/風冷,冷卻線圈、炬管、光學部件。
恒溫系統:光學艙恒溫(±0.1℃),減少波長漂移。
三、光學系統對比
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光學系統 |
核心特點 |
適用場景 |
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中階梯光柵 |
高分辨率、全譜覆蓋、二維色散 |
全譜直讀、復雜樣品 |
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切爾尼-特納 |
結構簡單、成本低、掃描靈活 |
單道掃描、常規分析 |
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帕邢-龍格 |
光效高、穩定性好、多通道 |
多道同時、快速檢測 |
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羅蘭圓 |
一次分光、光損小、抗干擾強 |
高端全譜、痕量分析 |
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